Uji Fungsi Mesin Metal Thermal Evaporator Physical Vapour Deposition (PVD) untuk Efektifitas Lapisan Film Tipis Alumunium (AI) pada Substrat Kaca

Penelitian ini akan berfokus pada mengembangkan pengujian fungsi mesin alat metal thermal evaporator yang dibuat, mengetahui struktur permukaan pada lapisan material alumunium dengan morfologi yang dimana terdapat ukuran butiran grain juga ketebalan lapisan, dan melakukan menganalisis dengan menggunakan Desain Of Eksperiment metode Taguchi. Metode ini dipilih karena memungkinkan dilakukannya eksperimen dengan beberapa faktor menggunakan jumlah percobaan yang minimal sehingga dapat menghemat waktu dan biaya eksperimen. Mengetahui dari struktur Permukaan material Alumunium untuk mendapatkan struktur morfologi dan menentukan kinerja mesin alat metal thermal evaporator. Mengetahui kualitas lapisan film tipis yang dihasilkan oleh mesin alat metal thermal evaporator dengan menggunakan Scanned Electron Microscope.