Pengembangan dan Rancang Bangun Sistem Pemanas Mesin Metal Thermal Eaporator

Kemajuan teknologi memainkan peran krusial dalam sektor pengolahan non migas di Indonesia, yang mencapai 17,90% dari PDB nasional pada 2021. Salah satu contohnya adalah pengembangan teknologi pelapisan material. Penelitian ini fokus pada pengembangan teknologi lapisan film tipis yang dihasilkan melalui evaporasi material menggunakan mesin metal thermal evaporator pada ruang vakum dengan suhu tinggi. Pengendalian suhu dan tekanan vakum adalah kunci untuk memastikan kualitas produk yang dihasilkan. Tujuan penelitian ini adalah mengatasi masalah sistem pemanas yang belum tersedia serta belum mencapai suhu target dan pengembangan mesin untuk mengatasi kebocoran sistem vakum pada mesin metal thermal evaporator. Untuk pengembangan pada sistem vakum, digunakan metode air leak test untuk mengetahui titik kebocoran sehingga bisa dilakukan perbaikan. Pada rancang bangun sistem pemanas, digunakan metode VDI 2222 yang terdiri dari beberapa tahapan: merencanakan, mengonsep, merancang, dan penyelesaian. Hasil pengembangan pada sistem vakum yang dilakukan, menunjukan nilai kevakuman sebesar 70 cmHg atau sekitar 92,11% dengan menggunakan pompa jenis rotary vane yaitu Oerlikon Leybold Vacuum Trivac D 2,5 E. Dari hasil uji coba mesin, hasil lapisan masih belum murni dan masih memiliki kandungan oksigen. Kandungan oksigen yang dihasilkan dari 3 sampel rata-rata menghasilkan kandungan oksigen sebesar 72,16% yang diukur dengan mengunakan mesin energy dispersive spectrometry (EDS) dengan pengambilan tiga kali sampel substrat. Berdasarkan metode rancang bangun sistem pemanas, sumber arus listrik yang digunakan adalah voltage regulator yang dipadukan dengan heater jenis tungsten boat. Hasil analisis yang dilakukan dengan solidwork menunjukkan suhu pada permukaan luar chamber mencapai suhu 34°C pada suhu evaporasi 660°C dan 65°C pada suhu evaporasi 1400°C.